高溫測量鐵電參數(shù)測試儀本測試系統(tǒng)采用虛地模式測量電路，與傳統(tǒng)的Sawyer-Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)，比較容易定標和，并且能實現(xiàn)較高的測量，它不僅能畫出鐵電薄膜的電滯回線，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和化ps、剩余化Pr、矯頑場Ec、漏電流Ik等參數(shù)，以及對鐵電薄膜材料鐵電疲勞、鐵電保持的測試。能夠測量鐵電薄膜的鐵電。儀器采用一體化設計，實現(xiàn)測試結(jié)果全數(shù)字化，操作簡單方便。